La force de base de ce capteur de micro-déplacement capacitif est sa résolution ultra-haute de 0.0001mm (0,1 μm) et une précision de mesure de ± 0.001mm, le rendant capable de détecter les changements de déplacement à l'échelle nanométrique qui sont invisibles à l'œil nu. Contrairement aux capteurs laser qui nécessitent une réflectivité de surface stricte, il fonctionne de manière fiable sur la plupart des surfaces conductrices et non conductrices, y compris le verre, les plaquettes de silicium et les matériaux polymères, éliminant les limitations de mesure causées par les propriétés de surface. Il utilise un système de détection capacitive en boucle fermée, qui minimise la dérive thermique et les interférences mécaniques de vibration, assurant une sortie stable dans les environnements de laboratoire et de salle blanche. Équipé de signaux de sortie USB et 0-2V, il prend en charge la connexion directe aux ordinateurs pour l'enregistrement et l'analyse des données, ainsi que l'intégration avec des systèmes de contrôle de précision. Le boîtier en céramique d'alumine a une excellente stabilité thermique, avec un coefficient de dilatation thermique de seulement 7.2 × 10 ^-6/℃, garantissant que la précision de mesure n'est pas affectée par les fluctuations de température.
Ce capteur de micro-déplacement capacitif a une plage de mesure de 0 à 10mm, ciblée sur la détection de position ultra-fine dans la recherche et la fabrication de haute technologie. Sa précision de mesure est de ± 0.001mm, avec une résolution de 0.0001mm, permettant une surveillance du déplacement à l'échelle nanométrique. Il prend en charge deux signaux de sortie: le signal numérique USB pour la connexion directe aux ordinateurs et aux systèmes d'acquisition de données, et le signal analogique 0-2V pour l'intégration avec des systèmes de contrôle de précision. Il fonctionne avec une faible tension d'alimentation de 5VDC, qui peut être alimentée par un port USB, éliminant ainsi le besoin d'alimentations supplémentaires. Le temps de réponse est aussi bas que 0.2ms, ce qui permet une surveillance en temps réel des micro-mouvements rapides tels que les tests de dispositifs MEMS. Logé dans un boîtier en céramique d'alumine de haute pureté, il offre une excellente stabilité thermique et résistance à la corrosion. Le grade de protection est IP64, empêchant la pénétration de poussière et les éclaboussures d'eau. La plage de température de travail est de 0 ℃ à 40 ℃, convient aux environnements de laboratoire et de salle propre. Les dimensions globales du capteur sont de 40mm × 30mm × 20mm, avec un poids net de 120g, et il est livré avec un support de réglage fin pour un positionnement précis lors de l'installation.
Ce capteur de micro-déplacement capacitif ultra-précision est principalement utilisé dans la recherche scientifique et la fabrication de haute technologie nécessitant une précision de mesure à l'échelle nanométrique. Dans la fabrication de semi-conducteurs, il est utilisé pour la détection de la planéité des plaquettes de silicium, le positionnement de la machine de photolithographie et l'alignement de l'emballage des puces, assurant la précision des composants microélectroniques. Dans les équipements optiques, il étalonne les positions des lentilles, les angles d'inclinaison des miroirs et l'alignement du faisceau laser dans les télescopes, les microscopes et les systèmes de traitement laser, optimisant les performances optiques. Dans la recherche scientifique, il est utilisé dans les expériences en science des matériaux pour mesurer les coefficients de dilatation thermique, dans la recherche en physique pour surveiller de minuscules vibrations mécaniques et en biomécanique pour étudier la déformation cellulaire sous contrainte. De plus, il convient aux tests de dispositifs MEMS, à l'étalonnage de gyroscope de précision et à l'analyse des vibrations des composants aérospatiaux, où une précision ultra-élevée et des performances stables sont essentielles à la recherche et à la qualité des produits.
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