L'avantage central de ce spectromètre micro-XRF est sa résolution spatiale ultra-haute, qui peut obtenir une analyse par élément d'échantillons avec une taille minimale de 1 μm d'épaisseur × 10 μm de diamètre. Il adopte un détecteur de dérive en silicium refroidi, assurant une résolution spectrale élevée et un faible bruit de fond, améliorant la sensibilité de détection des oligo-éléments. Le microscope optique construit avec jusqu'à 1000 × grossissement permet aux utilisateurs de localiser rapidement la zone de détection, améliorant ainsi la précision de la détection des échantillons. Le logiciel de cartographie de distribution d'éléments 3D peut afficher visuellement la distribution des éléments de l'échantillon, aidant les utilisateurs à analyser en profondeur la microstructure et la distribution des composants de l'échantillon. Comparé à l'équipement XRF traditionnel, il a un stade d'échantillon de haute précision, qui peut obtenir un mouvement précis de l'échantillon dans trois directions, répondant aux besoins de détection multipoint et de balayage de zone.
Les dimensions globales de l'instrument sont 1200mm × 800mm × 1500mm, avec un poids total de 800kg. Il est équipé d'un étage d'échantillonnage motorisé de haute précision, avec une plage de mouvement de X:100mm, Y:100mm et Z:50mm, et la précision de positionnement est ≤ 1μm. La tension d'excitation est réglable de 0-50kV, et le courant d'excitation est réglable de 0-100μA. La résolution spatiale est ≤ 5 μm et la résolution spectrale est ≤ 130eV à Mn Kα, couvrant tous les éléments du sodium à l'uranium. Le logiciel de cartographie de distribution d'éléments 3D peut générer des images de distribution d'éléments 2D et 3D et prendre en charge l'exportation de données dans plusieurs formats.
Ce spectromètre micro-XRF est principalement applicable à la protection des reliques culturelles et à la recherche archéologique, comme l'analyse non destructive des céramiques anciennes, des articles en bronze, de la calligraphie et des pigments de peinture, fournir une base scientifique pour la restauration des reliques culturelles et l'identification de l'âge. Il convient également à l'analyse des micro-matériaux dans l'industrie des semi-conducteurs, tels que la détection de la distribution des éléments des micropuces, des joints de soudure et d'autres micro-composants, et l'analyse de la qualité des appareils micro-électroniques. En outre, il peut être utilisé pour l'analyse des traces de preuves médico-légales, telles que la détection des composants des traces de peinture, de fibres et d'autres preuves, fournissant un soutien scientifique pour une enquête criminelle.
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