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Comparé aux capteurs de déplacement traditionnels, ce capteur de déplacement piézoélectrique présente trois avantages principaux. Premièrement, il dispose d'une fréquence de réponse maximale de 10 kHz, qui peut satisfaire aux exigences de détection des vibrations à haute fréquence et des déplacements dynamiques. Deuxièmement, il adopte une structure d'empilement de céramiques piézoélectriques, qui n'a pas d'hystérésis et possède une bonne linéarité, et permet d'effectuer une commande précise des micro-déplacements. Troisièmement, il dispose d'une ultra-haute précision de positionnement allant jusqu'à ±0,005 μm, qui peut satisfaire aux exigences de positionnement ultra-haute précision des équipements haut de gamme. Il résout les points douloureux des capteurs de déplacement traditionnels, tels que la réponse lente, la mauvaise linéarité et la faible précision de positionnement, et fournit une solution fiable pour la détection et le positionnement de micro-déplacements à haute fréquence.
Les paramètres techniques spécifiques de ce capteur de déplacement haute fréquence piézoélectrique sont les suivants : Plage de déplacement : 0 à 100 μm ; Précision de mesure : ±0,005 μm ; Linéarité : ≤ ±0,5 % FS ; Fréquence de réponse : Jusqu'à 10 kHz ; Largeur de bande : 15 kHz ; Signal de sortie : Signal de charge ou signal de tension ; Matériau central : Empilement de céramiques piézoélectriques ; Matériau du boîtier : Acier inoxydable 304 pour une bonne résistance à la corrosion ; Alimentation : 10 V CC à 150 V CC ; Température de fonctionnement : -20 °C à 60 °C ; Humidité relative : 20 % à 80 % RH sans condensation ; Degré de protection : IP63, adapté aux environnements industriels généraux ; Dimensions globales : 80 mm * 40 mm * 25 mm.
Ce capteur de déplacement haute fréquence piézoélectrique est adapté à plusieurs scénarios industriels de précision haut de gamme. Dans l'industrie de la lithographie semi-conductrice, il peut être utilisé pour le positionnement de précision de la lentille et du plateau pour assurer la précision de la fabrication de puces ; dans l'industrie des essais acoustiques, il peut être utilisé pour la détection de vibration des composants acoustiques et les essais de performance des équipements audio ; dans l'industrie MEMS, il peut être utilisé pour les essais de performance des systèmes micro-électromécaniques et la commande de précision des micro-composants ; dans l'industrie de la fabrication de précision, il peut être utilisé pour la détection de déplacement dynamique des machines-outils à grande vitesse et la surveillance de l'usure des outils. Il peut fournir des données de déplacement à haute fréquence et ultra-haute précision pour les équipements haut de gamme pour aider les entreprises à améliorer la précision et l'efficacité de la production des produits.