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Ce CMM de qualité laboratoire est équipé d'un système d'entraînement servo à palier pneumatique, qui n'a pas de friction pendant le mouvement, assurant une ultra-haute précision de déplacement et une stabilité à long terme. Il utilise une sonde de contact en rubis, qui possède une haute résistance à l'usure et une ultra-haute précision de répétition de positionnement de ±0,05μm. Le logiciel de mesure associé est PC-DMIS Calibration 2024, spécialement conçu pour l'étalonnage métrologique et prenant en charge l'analyse de données à haute précision et la correction des erreurs. De plus, il est spécialement conçu pour un environnement de laboratoire à température constante et peut maintenir une précision de mesure stable dans un environnement de 18 à 22°C. Il dispose également d'une fonction complète d'étalonnage et de vérification, qui peut répondre aux exigences de certification métrologique nationale.

Les spécifications techniques spécifiques sont les suivantes : La plage de mesure effective est de 600 mm pour l'axe X, 500 mm pour l'axe Y et 400 mm pour l'axe Z ; la précision de mesure globale est de ±0,2μm (conforme à la norme métrologique internationale ISO 10360-2) ; le système d'entraînement utilise un système servo à palier pneumatique, sans friction et avec une ultra-haute précision de déplacement ; le logiciel de mesure associé est PC-DMIS Calibration 2024, qui prend en charge l'étalonnage métrologique et l'analyse de données à haute précision ; le banc de travail est en marbre naturel, avec un coefficient de dilatation thermique extrêmement faible ; la charge maximale du banc de travail est de 300 kg ; la sonde est une sonde de contact en rubis, avec une haute sensibilité et une haute résistance à l'usure ; les interfaces de données comprennent GPIB et Ethernet Gigabit pour prendre en charge la transmission professionnelle des données ; les dimensions de la machine entière sont de 1200 mm × 1000 mm × 1600 mm ; l'alimentation électrique est de 220V 50Hz/60Hz, et il est adapté à un environnement de laboratoire à température constante de 18 à 22°C ; la précision de répétition de positionnement est de ±0,05μm.

Ce produit est principalement utilisé dans les instituts de métrologie, la recherche et le développement semi-conducteurs, l'étalonnage d'instruments de précision, les essais de pièces de précision aérospatiales et d'autres domaines. Les scénarios d'application typiques comprennent l'étalonnage d'outils de mesure standard, la détection dimensionnelle des puces semi-conductrices, l'étalonnage des composants d'instruments de précision et la détection à haute précision des pièces de précision aérospatiales. Dans l'institut de métrologie, il peut être utilisé comme équipement de détection standard pour étalonner d'autres instruments de mesure, assurant l'unité des unités de mesure.