Les avantages clés de ce microscope sont une résolution d'imagerie ultra-élevée de 0,1 μm, une précision de positionnement du plateau de ±0,05 μm et une fonction d'identification automatique des défauts pilotée par l'IA. Il résout les points douloureux des équipements d'inspection de plaquettes traditionnels qui présentent une faible efficacité de détection et un taux de non-détection élevé, et le logiciel professionnel d'analyse des semi-conducteurs peut générer automatiquement des rapports de défauts et fournir un soutien dataire pour l'optimisation des processus.
Les spécifications clés comprennent une plage de grossissement de 50x à 2000x, une source laser verte de 532 nm avec une puissance ajustable de 0 à 15 mW, une vitesse de balayage de 100 mm²/s et des objectifs compatibles de 5x/20x/50x/100x/1000x Huile. L'appareil est équipé d'un système de régulation de température intégré pour garantir des performances stables lors de tests à long terme et prend en charge la connexion aux systèmes de gestion des lignes de production industrielle.
Ce microscope laser d'inspection de plaquettes est utilisé dans la détection des défauts de plaquettes de semi-conducteurs, l'inspection qualité de l'emballage de puces, l'analyse de surface des dispositifs MEMS et les tests de précision des panneaux de cellules solaires. Il fournit des solutions de détection professionnelles pour les usines de fabrication de semi-conducteurs et les entreprises de production de composants électroniques.
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