Il est équipé de 6 caméras industrielles haute résolution de 12 MP, associées à une source lumineuse oblique coaxiale et à une source lumineuse en champ sombre, qui permettent de détecter les rayures, les impuretés et les protubérances à l'échelle nanométrique sur la surface des plaquettes. Son modèle de reconnaissance des défauts semiconducteurs basé sur l'apprentissage profond intégré couvre plus de 99,9 % des types de défauts semiconducteurs courants. Il prend en charge le contrôle en taille complète des plaquettes de 300 mm de diamètre, et peut transmettre en temps réel les données de contrôle au système MES de production semiconductrice. Il permet un positionnement et une classification précis des défauts des plaquettes, et respecte les normes de sécurité semiconductrices SEMI S2 pour garantir que le processus de contrôle se conforme aux spécifications industrielles.
La zone de détection maximale est les plaquettes de 300 mm de diamètre, et le défaut surfacique détectable minimum est de 0,001 mm. La résolution de la caméra est de 12 millions de pixels, et la vitesse de détection est de 150 cm² par seconde. L'alimentation est AC220V 50/60Hz avec une consommation électrique de 1,8 kW. Les dimensions globales sont 1600*1400*1700 mm, et le poids de l'équipement est de 950 kg. Il prend en charge l'épaisseur des plaquettes de 0,05 à 0,8 mm, et est équipé d'une plate-forme de mouvement à haute précision avec une précision de positionnement de 0,0005 mm. Il prend en charge le chargement et déchargement automatiques raccordés aux lignes de production d'emballage semiconducteur, et a obtenu les certifications CE, ISO9001 et SEMI S2.
Il est principalement destiné aux usines de fabrication de plaquettes semiconductrices, aux usines d'emballage et de test de circuits intégrés, aux entreprises de fabrication de micro-LED et autres entreprises de fabrication de haute gamme. En tant qu'équipement de contrôle des défauts surfaciques des plaquettes, des défauts des broches de puces et des défauts de points lumineux des micro-LED, il satisfait aux exigences de contrôle qualité à haute précision de la fabrication semiconductrice de haute gamme, aide les entreprises à réduire la sortie de produits défectueux et à améliorer la fiabilité et le rendement des produits semiconducteurs, en conformité avec les normes mondiales de contrôle qualité de l'industrie semiconductrice.
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