Les principaux avantages uniques sont la précision de mesure sub-micronique pour les pièces à micro-échelle, une conception sécurisée pour les salles blanches conforme aux normes industrielles de fabrication de semi-conducteurs, et un table de travail compatible avec les plaquettes qui prend en charge les tailles standard de plaquettes semi-conductrices. Il résout le problème de mesure de pièces semi-conductrices petites et à haute valeur avec une précision sub-micronique, permettant le contrôle de qualité pour le découpage de plaquettes, les connecteurs à broches micro et l'inspection de composants optiques. L'appareil prend en charge la détection en temps réel des micro-défauts et la reconnaissance automatique de contours pour des éléments petits jusqu'à 1 μm de taille.
Outre ses attributs de base, l'appareil a une empreinte de 1200 mm × 900 mm × 1800 mm, une hauteur maximale de pièce de 100 mm et un champ de vision optique allant de 20 mm ×15 mm à 2 mm ×1,5 mm. Le capteur de déplacement laser a une plage de mesure de 0,1 à 100 mm, et le logiciel de contrôle prend en charge l'inspection de cartes de plaquettes et l'analyse par lots de données. Il est livré avec une garantie standard de 36 mois et un service d'installation sur site en salle blanche.
Les principaux scénarios d'application comprennent la fabrication de plaquettes semi-conductrices, les lignes d'assemblage de microélectronique, l'inspection de composants d'appareils médicaux de précision, la production de composants optiques et le contrôle de qualité des appareils MEMS. Il est idéal pour mesurer les dimensions des micro-broches, les repères d'alignement de plaquettes, les micro-engrenages et autres pièces de précision ultra-petites.
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